Ondarymgeçiriji (FAB) arassa otagda otnositel çyglylygyň maksat bahasy

Ondarymgeçirijiniň (FAB) arassa otagynda otnositel çyglylygyň maksat bahasy takmynan 30-50% bolup, litografiýa zolagynda - ýa-da uzak ultramelewşe gaýtadan işlemekde (DUV) has az ± 1% ýalňyşlyk goýberýär. zona - başga bir ýerde ± 5% rahatlandyrylyp bilner.
Deňeşdirilen çyglylygyň arassa otaglaryň umumy işleýşini peseldip biljek birnäçe faktor bar, şol sanda:
1. Bakteriýalaryň ösüşi;
2. Işgärler üçin otag temperaturasynyň amatly aralygy;
3. Elektrostatik zarýad peýda bolýar;
4. Metal poslama;
5. Suw buglarynyň kondensasiýasy;
6. Daşbasma işiniň peselmegi;
7. Suwuň siňdirilmegi.

Bakteriýalar we beýleki biologiki hapalar (galyndylar, wiruslar, kömelekler, mör-möjekler) çyglylygy 60% -den gowrak bolan ýerlerde gülläp ösüp biler. Käbir bakteriýa jemgyýetleri 30% -den gowrak çyglylykda ösüp biler. Kompaniýa, çyglylygyň 40% -den 60% aralygynda gözegçilik edilmelidigine, bakteriýalaryň we dem alyş ýokançlyklarynyň täsirini azaldyp biljekdigine ynanýar.

40% -den 60% aralygyndaky otnositel çyglylyk, adam rahatlygy üçin ortaça aralykdyr. Çyglylygyň aşa köp bolmagy adamlary doýup biler, 30% -den pes çyglylyk bolsa adamlary gurak, deri örtülen, dem alyş rahatsyzlygy we emosional bagtsyzlyk duýup biler.

Highokary çyglylyk, aslynda arassa otagyň üstünde elektrostatik zarýadlaryň ýygnanmagyny azaldar - islenýän netije. Pes çyglylyk zarýad ýygnamak we elektrostatiki akymyň potensial zyýanly çeşmesi üçin amatlydyr. Otnositel çyglylyk 50% -den geçende, elektrostatik zarýadlar çalt dargap başlaýar, ýöne çyglylyk 30% -den az bolanda, izolýatorda ýa-da esassyz ýerde uzak wagtlap dowam edip biler.

35% bilen 40% aralygyndaky çyglylyk kanagatlanarly ylalaşyk hökmünde ulanylyp bilner, ýarymgeçiriji arassa otaglar, adatça, elektrostatik zarýadlaryň toplanmagyny çäklendirmek üçin goşmaça dolandyryşlary ulanýarlar.

Köp himiki reaksiýalaryň tizligi, poslama prosesleri goşmak bilen, çyglylygyň ýokarlanmagy bilen ýokarlanar. Arassa otagyň töweregindäki howanyň täsir edýän ähli ýüzleri çalt.